Structure of sputtered nanocomposite CrCx/a-C:H thin films

Gert Gassner; Jörg Patscheider; Paul Heinz Mayrhofer; E. Hegedus; L. Toth; I. Kovacs; B. Pecz; V. Srot; Christina Scheu; Christian Mitterer

doi:10.1116/1.2216713

Structure of sputtered nanocomposite CrCx/a-C:H thin films

Titel in Übersetzung: Structure of sputtered nanocomposite CrCx/a-C:H thin films

Gert Gassner, Jörg Patscheider, Paul Heinz Mayrhofer, E. Hegedus, L. Toth, I. Kovacs, B. Pecz, V. Srot, Christina Scheu, Christian Mitterer

Lehrstuhl für Metallkunde (420)

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Begutachtung

43 Zitate (Scopus)

Titel in Übersetzung	Structure of sputtered nanocomposite CrCx/a-C:H thin films
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	1837-1843
Fachzeitschrift	Journal of vacuum science & technology / B (JVST)
Jahrgang	24
DOIs	https://doi.org/10.1116/1.2216713
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2006

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10.1116/1.2216713

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TY - JOUR

T1 - Structure of sputtered nanocomposite CrCx/a-C:H thin films

AU - Gassner, Gert

AU - Patscheider, Jörg

AU - Mayrhofer, Paul Heinz

AU - Hegedus, E.

AU - Toth, L.

AU - Kovacs, I.

AU - Pecz, B.

AU - Srot, V.

AU - Scheu, Christina

AU - Mitterer, Christian

PY - 2006

Y1 - 2006

U2 - 10.1116/1.2216713

DO - 10.1116/1.2216713

M3 - Article

SN - 0734-211X

VL - 24

SP - 1837

EP - 1843

JO - Journal of vacuum science & technology / B (JVST)

JF - Journal of vacuum science & technology / B (JVST)

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