Structure, stresses and stress relaxation of TiN/Cu multilayer and nanocomposite coatings

Titel in Übersetzung: Structure, stresses and stress relaxation of TiN/Cu multilayer and nanocomposite coatings

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Begutachtung

Titel in Übersetzung	Structure, stresses and stress relaxation of TiN/Cu multilayer and nanocomposite coatings
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	114-118
Fachzeitschrift	International journal of materials research : IJMR ; Zeitschrift für Metallkunde
Jahrgang	100
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2009

Dieses zitieren

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publisher = "Carl Hanser Verlag GmbH & Co. KG",

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TY - JOUR

T1 - Structure, stresses and stress relaxation of TiN/Cu multilayer and nanocomposite coatings

AU - Köstenbauer, Harald

AU - Hofer, Anna Maria

AU - Fontalvo, Gerardo

AU - Keckes, Jozef

AU - Mitterer, Christian

PY - 2009

Y1 - 2009

M3 - Article

SN - 1862-5282

VL - 100

SP - 114

EP - 118

JO - International journal of materials research : IJMR ; Zeitschrift für Metallkunde

JF - International journal of materials research : IJMR ; Zeitschrift für Metallkunde

ER -