Originalsprache | Englisch |
---|---|
Seiten (von - bis) | 54-58 |
Fachzeitschrift | Thin solid films |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 1996 |
Studies on the morphology of Al2O3 thin films grown by Atomic Layer Epitaxy
Thomas Prohaska, M. Ritala, H. Saloniemi, M. Leskelä, G FRIEDBACHER
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Begutachtung
52
Zitate
(Scopus)