Studies on the morphology of Al2O3 thin films grown by Atomic Layer Epitaxy

Thomas Prohaska, M. Ritala, H. Saloniemi, M. Leskelä, G FRIEDBACHER

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

52 Zitate (Scopus)
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis) 54-58
FachzeitschriftThin solid films
PublikationsstatusVeröffentlicht - 1996

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