Surface roughness reduction in Atomic Layer Epitaxy growth of titanium dioxide thin films

Thomas Prohaska, M. Ritala, M. Leskelä, L. Niinistö, G FRIEDBACHER, M GRASSERBAUER

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

46 Zitate (Scopus)
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis) 155-162
FachzeitschriftThin solid films
PublikationsstatusVeröffentlicht - 1994

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