| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Aufsatznummer | 060604 |
| Seitenumfang | 6 |
| Fachzeitschrift | Journal of vacuum science & technology / A (JVST) |
| Jahrgang | 35.2017 |
| Ausgabenummer | 6 |
| DOIs | |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 13 Sept. 2017 |
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