Temperature dependence of in-plane stresses in sublayers of Al/AlN/Al2O3(0 0 0 1) structure

Titel in Übersetzung: Temperature dependence of in-plane stresses in sublayers of Al/AlN/Al2O3(0 0 0 1) structure

Jozef Keckes, S. Six, J.W. Gerlach, B. Rauschenbach

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Begutachtung

9 Zitate (Scopus)

Titel in Übersetzung	Temperature dependence of in-plane stresses in sublayers of Al/AlN/Al2O3(0 0 0 1) structure
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	119-123
Fachzeitschrift	Journal of crystal growth
Jahrgang	262
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2004

Dieses zitieren

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author = "Jozef Keckes and S. Six and J.W. Gerlach and B. Rauschenbach",

year = "2004",

language = "English",

volume = "262",

pages = "119--123",

journal = "Journal of crystal growth",

issn = "0022-0248",

publisher = "Elsevier B.V.",

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