Temperature dependence of in-plane stresses in sublayers of Al/AlN/Al2O3(0 0 0 1) structure

Titel in Übersetzung: Temperature dependence of in-plane stresses in sublayers of Al/AlN/Al2O3(0 0 0 1) structure

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Begutachtung

9 Zitate (Scopus)

Titel in Übersetzung	Temperature dependence of in-plane stresses in sublayers of Al/AlN/Al2O3(0 0 0 1) structure
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	119-123
Fachzeitschrift	Journal of crystal growth
Jahrgang	262
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2004

Dieses zitieren

@article{664d4c8d2ef447bfbb73630d797af876,

title = "Temperature dependence of in-plane stresses in sublayers of Al/AlN/Al2O3(0 0 0 1) structure",

author = "Jozef Keckes and S. Six and J.W. Gerlach and B. Rauschenbach",

year = "2004",

language = "English",

volume = "262",

pages = "119--123",

journal = "Journal of crystal growth",

issn = "0022-0248",

publisher = "Elsevier B.V.",

}