The effect of the discharge power on target poisoning and microstructure - property relations of reactively sputtered TiN coatings

Christian Saringer, Robert Franz, Katrin Zorn, Christian Mitterer

Publikation: KonferenzbeitragPosterForschung

OriginalspracheEnglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - Dez. 2015
VeranstaltungMIATEC RSD 2015 - CNAM, Paris, Frankreich
Dauer: 8 Dez. 201511 Dez. 2015

Konferenz

KonferenzMIATEC RSD 2015
Land/GebietFrankreich
OrtParis
Zeitraum8/12/1511/12/15
  • MIATEC RSD 2015

    Christian Saringer (Teilnehmer/-in)

    8 Dez. 201511 Dez. 2015

    Aktivität: Teilnahme an oder Organisation einer VeranstaltungKonferenzteilnahme

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