The effect of the discharge power on target poisoning and microstructure - property relations of reactively sputtered TiN coatings

Publikation: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung

Originalsprache	Englisch
Publikationsstatus	Veröffentlicht - Dez. 2015
Veranstaltung	MIATEC RSD 2015 - CNAM, Paris, Frankreich Dauer: 8 Dez. 2015 → 11 Dez. 2015

MIATEC RSD 2015
Saringer, C. (Teilnehmer/-in)
8 Dez. 2015 → 11 Dez. 2015
Aktivität: Teilnahme an oder Organisation einer Veranstaltung › Konferenzteilnahme

Dieses zitieren

@conference{e8e82d486b38494ea32883fbacd178dc,

title = "The effect of the discharge power on target poisoning and microstructure - property relations of reactively sputtered TiN coatings",

author = "Christian Saringer and Robert Franz and Katrin Zorn and Christian Mitterer",

year = "2015",

month = dec,

language = "English",

note = "MIATEC RSD 2015 ; Conference date: 08-12-2015 Through 11-12-2015",

}