The origin of stresses in magnetron sputtered thin films

Titel in Übersetzung: The origin of stresses in magnetron sputtered thin films

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/KonferenzbandBeitrag in Konferenzband

Titel in ÜbersetzungThe origin of stresses in magnetron sputtered thin films
OriginalspracheEnglisch
TitelProceedings of 4th International Conference on Surface, coatings and Nanostructured Materials
Seiten44-44
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2009

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