The sputter performance of an industrial-scale planar Mo-target over ist lifetime: Target erosion and film properties

Martin Rausch, Asaf Sabag, Karl-Heinz Pichler, Georg Gruber, Judith Köstenbauer, Harald Köstenbauer, Patrice Kreiml, Megan J. Cordill, Jörg Winkler, Christian Mitterer

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

OriginalspracheEnglisch
Aufsatznummer125174
Seitenumfang14
FachzeitschriftSurface & coatings technology
Jahrgang381.2020
Ausgabenummer15 January
Frühes Online-Datum18 Nov. 2019
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2019

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