Thermal stability of magnetron sputtered Zr–Si–N films

Titel in Übersetzung: Thermal stability of magnetron sputtered Zr–Si–N films

R. Daniel, J. Musil, P. Zeman, C. Mitterer

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Begutachtung

41 Zitate (Scopus)

Titel in Übersetzung	Thermal stability of magnetron sputtered Zr–Si–N films
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	3368-3376
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
Jahrgang	201
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2006.07.206 https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2006.07.206
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2006

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@article{24c58b484b1541e1b9b553d63f8efe49,

title = "Thermal stability of magnetron sputtered Zr–Si–N films",

author = "R. Daniel and J. Musil and P. Zeman and C. Mitterer",

year = "2006",

doi = "10.1016/j.surfcoat.2006.07.206",

language = "English",

volume = "201",

pages = "3368--3376",

journal = "Surface & coatings technology",

issn = "0257-8972",

publisher = "Elsevier B.V.",

}

TY - JOUR

T1 - Thermal stability of magnetron sputtered Zr–Si–N films

AU - Daniel, R.

AU - Musil, J.

AU - Zeman, P.

AU - Mitterer, C.

PY - 2006

Y1 - 2006

UR - http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-33750973045&partnerID=MN8TOARS

U2 - 10.1016/j.surfcoat.2006.07.206

DO - 10.1016/j.surfcoat.2006.07.206

M3 - Article

SN - 0257-8972

VL - 201

SP - 3368

EP - 3376

JO - Surface & coatings technology

JF - Surface & coatings technology

ER -