Thermal stability of sputtered alumina films

Titel in Übersetzung: Thermal stability of sputtered alumina films

Viktoria Edlmayr, Claudia Walter, Christian Mitterer

Publikation: KonferenzbeitragPosterForschungBegutachtung

Titel in ÜbersetzungThermal stability of sputtered alumina films
OriginalspracheEnglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2007
VeranstaltungSymposium on Reactive Sputter Deposition - Leoben, Österreich
Dauer: 6 Dez. 20077 Dez. 2007

Konferenz

KonferenzSymposium on Reactive Sputter Deposition
Land/GebietÖsterreich
OrtLeoben
Zeitraum6/12/077/12/07

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