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Thermal stability of sputtered alumina films

Titel in Übersetzung: Thermal stability of sputtered alumina films

Publikation: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › Begutachtung

Titel in ÜbersetzungThermal stability of sputtered alumina films
OriginalspracheEnglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2007
VeranstaltungSymposium on Reactive Sputter Deposition - Leoben, Österreich
Dauer: 6 Dez. 2007 → 7 Dez. 2007

Konferenz

KonferenzSymposium on Reactive Sputter Deposition
Land/GebietÖsterreich
OrtLeoben
Zeitraum6/12/07 → 7/12/07

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