Thermally-induced stresses in thin aluminum layers grown on silicon

Titel in Übersetzung: Thermally-induced stresses in thin aluminum layers grown on silicon

Ernst Eiper, R. Resel, C. Eisenmenger-Sittner, M. Hafok, Jozef Keckes

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

10 Zitate (Scopus)
Titel in ÜbersetzungThermally-induced stresses in thin aluminum layers grown on silicon
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)74-76
FachzeitschriftPowder diffraction
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2004

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