TiN diffusion barrier failure by the formation of Cu3Si investigated by electron microscopy and atom probe tomography

Marlene Mühlbacher, Grzegorz Greczynski, Bernhard Sartory, Francisca Mendez Martin, Nina Schalk, Jun Lu, Lars Hultman, Christian Mitterer

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

13 Zitate (Scopus)
OriginalspracheEnglisch
Aufsatznummer022202
Seiten (von - bis)1-8
Seitenumfang8
FachzeitschriftJournal of Vacuum Science and Technology B, JVSTB
Jahrgang34.2016
Ausgabenummer2
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 19 Feb. 2016

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