Topographical and structural investigations of phosphorous-doped silicon films

Titel in Übersetzung: Topographical and structural investigations of phosphorous-doped silicon films

K Sorschag, H Gold, J Lutz, Friedemar Kuchar, M Pippan, H Noll

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

Titel in ÜbersetzungTopographical and structural investigations of phosphorous-doped silicon films
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)999-1002
FachzeitschriftApplied physics / A (Series A, Materials science & processing)
Jahrgang66
PublikationsstatusVeröffentlicht - 1998

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