Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik

Translated title of the contribution: Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik

Christian Motz, Daniel Kiener, Thomas Schöberl, Reinhard Pippan, Gerhard Dehm

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Chapter › Research

Translated title of the contributionFokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik
Original languageGerman
Title of host publicationHandbuch der Nanoanalytik
Pages162-163
Publication statusPublished - 2005

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