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Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik

Translated title of the contribution: Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik
  • Christian Motz
  • , Daniel Kiener
  • , Thomas Schöberl
  • , Reinhard Pippan
  • , Gerhard Dehm

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Chapter › Research

Translated title of the contributionFokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik
Original languageGerman
Title of host publicationHandbuch der Nanoanalytik
Pages162-163
Publication statusPublished - 2005

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