Hochtemperatur-Röntgendiffraktion - Spannungen und Deformationen in dünnen Aluminium-Schichten auf Silizium

Translated title of the contribution: Hochtemperatur-Röntgendiffraktion - Spannungen und Deformationen in dünnen Aluminium-Schichten auf Silizium

C. Resch, Jozef Keckes, Ernst Eiper, E. Resel

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Chapter › Research

Translated title of the contributionHochtemperatur-Röntgendiffraktion - Spannungen und Deformationen in dünnen Aluminium-Schichten auf Silizium
Original languageGerman
Title of host publicationHandbuch der Nanoanalytik
Pages170-172
Publication statusPublished - 2005

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