Journal of vacuum science & technology / A (JVST), 0734-2101

Zeitschrift

ISSNs0734-2101

Publikationen

  1. 2018
  2. Veröffentlicht
  3. Veröffentlicht

    Oxidation and wet etching behavior of sputtered Mo-Ti-Al films

    Jörg, T., Hofer-Roblyek, A. M., Köstenbauer, H., Winkler, J. & Mitterer, C. 2018 in : Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 36, S. 021513-1-021513-5

    Publikationen: Forschung - BegutachtungArtikel

  4. 2017
  5. Veröffentlicht

    Chemical composition and properties of MoAl thin films deposited by sputtering from MoAl compound targets

    Lorenz, R., O 'Sullivan, M., Sprenger, D., Lang, B. & Mitterer, C. 2017 in : Journal of vacuum science & technology / A (JVST). S. 041504-1 - 041504-6

    Publikationen: Forschung - BegutachtungArtikel

  6. Veröffentlicht

    Industrial-scale sputter deposition of molybdenum oxide thin films: Microstructure evolution and properties

    Pachlhofer, J., Martin-Luengo, A. T., Franz, R., Franzke, E., Köstenbauer, H., Winkler, J., Bonanni, A. & Mitterer, C. 2017 in : Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 35, 2, S. 021504-1 - 021504-8 8 S.

    Publikationen: Forschung - BegutachtungArtikel

  7. Veröffentlicht

    Tailoring age hardening of Ti1-xAlxN by Ta alloying

    Großmann, B., Jamnig, A., Schalk, N., Czettl, C., Pohler, M. & Mitterer, C. 2017 in : Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 35, 6, S. 060604-1-060604-6

    Publikationen: Forschung - BegutachtungArtikel

  8. 2016
  9. Veröffentlicht
  10. Veröffentlicht

    Erosion behavior of composite Al-Cr cathodes in cathodic arc plasmas in inert and reactive atmospheres

    Franz, R., Mendez Martin, F., Hawranek, G. & Polcik, P. 2016 in : Journal of vacuum science & technology / A (JVST). Vol. 34, No. 2, S. 1-8 8 S.

    Publikationen: Forschung - BegutachtungArtikel

  11. 2012
  12. Veröffentlicht
  13. 2011
  14. Veröffentlicht

    Effects of thermal annealing on the microstructure of sputtered Al 2O3 coatings

    Edlmayr, V., Harzer, T. P., Hoffmann, R., Kiener, D., Scheu, C. & Mitterer, C. Jul 2011 in : Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 29, 4, 041506

    Publikationen: Forschung - BegutachtungArtikel

  15. Veröffentlicht

    Effects of thermal annealing on the microstructure of sputtered Al2O3 coatings

    Edlmayr, V., Harzer, T. P., Hoffmann, R., Kiener, D., Scheu, C. & Mitterer, C. 2011 in : Journal of vacuum science & technology / A (JVST). S. 0415061-0415068

    Publikationen: Forschung - BegutachtungArtikel

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