Journal of vacuum science & technology / A (JVST), 0734-2101

Zeitschrift

ISSNs0734-2101

Publikationen

  1. 2018
  2. Veröffentlicht

    Influence of discharge power and bias potential on microstructure and hardness of sputtered amorphous carbon coatings

    Saringer, C., Oberroither, C., Zorn, K., Franz, R. & Mitterer, C. 2018 in : Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 36, 2

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  3. Veröffentlicht

    Oxidation and wet etching behavior of sputtered Mo-Ti-Al films

    Jörg, T., Hofer-Roblyek, A. M., Köstenbauer, H., Winkler, J. & Mitterer, C. 2018 in : Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 36, S. 021513-1-021513-5

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  4. 2017
  5. Veröffentlicht

    Chemical composition and properties of MoAl thin films deposited by sputtering from MoAl compound targets

    Lorenz, R., O 'Sullivan, M., Sprenger, D., Lang, B. & Mitterer, C. 2017 in : Journal of vacuum science & technology / A (JVST). S. 041504-1 - 041504-6

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  6. Veröffentlicht

    Industrial-scale sputter deposition of molybdenum oxide thin films: Microstructure evolution and properties

    Pachlhofer, J., Martin-Luengo, A. T., Franz, R., Franzke, E., Köstenbauer, H., Winkler, J., Bonanni, A. & Mitterer, C. 2017 in : Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 35, 2, S. 021504-1 - 021504-8 8 S.

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  7. Veröffentlicht

    Tailoring age hardening of Ti1-xAlxN by Ta alloying

    Großmann, B., Jamnig, A., Schalk, N., Czettl, C., Pohler, M. & Mitterer, C. 2017 in : Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 35, 6, S. 060604-1-060604-6

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  8. 2016
  9. Veröffentlicht

    Effect of discharge power on target poisoning and coating properties in reactive magnetron sputter deposition of TiN

    Saringer, C., Franz, R., Zorn, K. & Mitterer, C. 1 Jul 2016 in : Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 34, 4, 8 S., 041517

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  10. Veröffentlicht

    Erosion behavior of composite Al-Cr cathodes in cathodic arc plasmas in inert and reactive atmospheres

    Franz, R., Mendez Martin, F., Hawranek, G. & Polcik, P. 2016 in : Journal of vacuum science & technology / A (JVST). Vol. 34, No. 2, S. 1-8 8 S.

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  11. 2012
  12. Veröffentlicht

    Oxidation behavior of arc evaporated Al-Cr-Si-N thin films

    Tritremmel, C., Daniel, R., Mitterer, C., Mayrhofer, P. H., Lechthaler, M. & Polcik, P. 2012 in : Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 30, S. 061501-1-061501-6

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  13. 2011
  14. Veröffentlicht

    Effects of thermal annealing on the microstructure of sputtered Al 2O3 coatings

    Edlmayr, V., Harzer, T. P., Hoffmann, R., Kiener, D., Scheu, C. & Mitterer, C. Jul 2011 in : Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 29, 4, 041506

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  15. Veröffentlicht

    Effects of thermal annealing on the microstructure of sputtered Al2O3 coatings

    Edlmayr, V., Harzer, T. P., Hoffmann, R., Kiener, D., Scheu, C. & Mitterer, C. 2011 in : Journal of vacuum science & technology / A (JVST). S. 0415061-0415068

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

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