A capacitance ultrasonic transducer with micromachined backplate for fast flow measurements in hot pulsating gases

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Autoren

  • Andreas Schröder
  • Mario Kupnik
  • Paul O'Leary
  • Ewald Benes
  • Martin Gröschl

Organisationseinheiten

Externe Organisationseinheiten

  • Technische Universität Wien
  • Preparatory Commission for the Comprehensive Nuclear-Test-Ban Treaty Organization
  • Stanford University
  • Institute of Electrical and Electronics Engineers

Details

OriginalspracheEnglisch
Aufsatznummer1661569
Seiten (von - bis)898-905
Seitenumfang8
FachzeitschriftIEEE sensors journal
Jahrgang6
Ausgabenummer4
DOIs
StatusVeröffentlicht - 1 Aug 2006