A Capacitance Ultrasonic Transducer with Micromaschined Backplate for Fast Flow-Measurements in Hot Pulsating Gases

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Autoren

  • Andreas Schröder
  • Mario Kupnik
  • Paul O'Leary
  • Ewald Benes
  • Martin Gröschl

Organisationseinheiten

Details

Titel in ÜbersetzungA Capacitance Ultrasonic Transducer with Micromaschined Backplate for Fast Flow-Measurements in Hot Pulsating Gases
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)898-905
FachzeitschriftIEEE sensors journal
JahrgangVOL. 6
StatusVeröffentlicht - 2006