A comparative study on NbOx films reactively sputtered from sinterd and cold gas sprayed targets

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Autoren

  • M. O`Sullivan
  • Alexander Fian
  • D. Sprenger
  • Bernhard Lang

Externe Organisationseinheiten

  • Institute for Surface Technologies and Photonics, Joanneum Research Forschungsgesellschaft mbH
  • PLANSEE SE

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)1157-1162
ZeitschriftApplied surface science
DOIs
StatusVeröffentlicht - 2018