Accelerated thermo-mechanical fatigue of copper metallizations studied by pulsed laser heating

Publikationen: Forschung - BegutachtungArtikel

Externe Organisationseinheiten

  • Erich Schmid Institute of Materials Science

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)110-118
Seitenumfang9
ZeitschriftMicroelectronic engineering
Band167
DOIs
StatusVeröffentlicht - 5 Jan 2017