Accelerated thermo-mechanical fatigue of copper metallizations studied by pulsed laser heating

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

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  • Erich Schmid Institute of Materials Science of the Austrian Academy of Sciences

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)110-118
Seitenumfang9
FachzeitschriftMicroelectronic engineering
Jahrgang167
DOIs
StatusVeröffentlicht - 5 Jan 2017