Compositional depth profiling of diamond-like carbon layers by glow discharge optical emission spectroscopy

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Autoren

  • C. Schubert
  • V. Hoffmann
  • A. Kümmel
  • J. Sinn
  • A. Reuther
  • M. Thomalla
  • T. Gemming
  • C. Leyens

Organisationseinheiten

Externe Organisationseinheiten

  • IFW Dresden
  • Continental Automotive GmbH
  • Erich Schmid Institute of Materials Science of the Austrian Academy of Sciences
  • Institut für Strukturphysik

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)2207-2212
Seitenumfang6
FachzeitschriftJournal of analytical atomic spectrometry
Jahrgang31
Ausgabenummer11
DOIs
StatusVeröffentlicht - 1 Nov 2016