Effect of crystal orientation on the hardness and strength of piezoelectric LiNbO3 substrates for microelectronic applications

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

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OriginalspracheEnglisch
Aufsatznummer110306
FachzeitschriftMaterials and Design
DOIs
StatusVeröffentlicht - 2022