Effects of bias pulse frequencies on reactively sputter deposited NbOx films

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Autoren

  • M. O`Sullivan
  • Alexander Fian
  • D. Sprenger
  • Bernhard Lang

Externe Organisationseinheiten

  • Plansee SE
  • Institute for Surface Technologies and Photonics, Joanneum Research Forschungsgesellschaft mbH

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)335-342
FachzeitschriftThin solid films
DOIs
StatusVeröffentlicht - 2018