Effects of thermal annealing on the microstructure of sputtered Al 2O3 coatings

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

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  • Ludwig-Maximilians-University

Details

OriginalspracheEnglisch
Aufsatznummer041506
FachzeitschriftJournal of vacuum science & technology / A (JVST)
Jahrgang29
Ausgabenummer4
DOIs
StatusVeröffentlicht - Jul 2011