Film thickness dependent microstructural changes of thick copper metallizations upon thermal fatigue

Forschungsoutput: Forschung - (peer-reviewed)Artikel

Externe Organisationseinheiten

  • Erich Schmid Institute of Materials Science

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)2022-2034
Seitenumfang13
ZeitschriftJournal of materials research (JMR)
Band32
Ausgabennummer11
DOIs
StatusVeröffentlicht - 14 Jun 2017