Film thickness dependent microstructural changes of thick copper metallizations upon thermal fatigue

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

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  • Erich Schmid Institute of Materials Science of the Austrian Academy of Sciences

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)2022-2034
Seitenumfang13
FachzeitschriftJournal of materials research (JMR)
Jahrgang32
Ausgabenummer11
DOIs
StatusVeröffentlicht - 14 Jun 2017