High-temperature tribological behavior of sputtered NbNx thin films

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

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Titel in ÜbersetzungHigh-temperature tribological behavior of sputtered NbNx thin films
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)1017-1022
FachzeitschriftSurface & coatings technology
Jahrgang202
DOIs
StatusVeröffentlicht - 2007