Improved electro-mechanical reliability of flexible systems with alloyed Mo-Ta adhesion layers

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Autoren

Externe Organisationseinheiten

  • Plansee SE
  • Erich Schmid Institute of Materials Science of the Austrian Academy of Sciences

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)1-9
FachzeitschriftThin solid films
Jahrgang2021
Ausgabenummer720
DOIs
StatusVeröffentlicht - 2021