Influence of discharge power and bias potential on microstructure and hardness of sputtered amorphous carbon coatings

Forschungsoutput: Forschung - (peer-reviewed)Artikel

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OriginalspracheEnglisch
ZeitschriftJournal of vacuum science & technology / A (JVST)
Band36
Ausgabennummer2
DOIs
StatusVeröffentlicht - 2018