Influence of discharge power and bias potential on microstructure and hardness of sputtered amorphous carbon coatings

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

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OriginalspracheEnglisch
ZeitschriftJournal of vacuum science & technology / A (JVST)
Jahrgang36
Ausgabennummer2
DOIs
StatusVeröffentlicht - 2018