Influence of oxygen impurities on growth morphology, structure and mechanical properties of Ti–Al–N thin films

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Externe Organisationseinheiten

  • Technische Universität Wien

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)39-49
Seitenumfang10
FachzeitschriftThin solid films
Jahrgang603
DOIs
StatusVeröffentlicht - 2016