Interface fracture and chemistry of a tungsten-based metallization on borophosphosilicate glass

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Autoren

  • W. Heinz
  • K. Matoy
  • R. Roth
  • J. M. Batke
  • T. Schöberl

Externe Organisationseinheiten

  • Kompetenzzentrum Automobil- und Industrieelektronik GmbH
  • Infineon Technologies AG Austria
  • Erich-Schmid-Institut für Materialwissenschaft der Österreichischen Akademie der Wissenschaften
  • Ludwig-Maximilians-University
  • Max-Planck-Institut für Eisenforschung GmbH, Düsseldorf

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)1967-1981
Seitenumfang15
FachzeitschriftPhilosophical magazine
Jahrgang95
Ausgabenummer16-18
DOIs
StatusVeröffentlicht - 23 Juni 2015