Oxidation and wet etching behavior of sputtered ternary molybdenum films

Publikationen: KonferenzbeitragVortragForschung

Details

OriginalspracheEnglisch
StatusVeröffentlicht - 2014
Veranstaltung14th IMID -
Dauer: 26 Aug 2014 → …

Konferenz

Konferenz14th IMID
Zeitraum26/08/14 → …