Photonic superlattice multilayers for EUV lithography infrastructure

Publikationen: Beitrag in Buch/Bericht/KonferenzbandBeitrag in Konferenzband

Organisationseinheiten

Details

OriginalspracheEnglisch
Titel34th European Mask and Lithography Conference
Herausgeber (Verlag)SPIE
Band10775
ISBN (Print)9781510621213
DOIs
StatusVeröffentlicht - 1 Jan 2018
Veranstaltung34th European Mask and Lithography Conference, EMLC 2018 - Grenoble, Frankreich
Dauer: 18 Jun 201820 Jun 2018

Konferenz

Konferenz34th European Mask and Lithography Conference, EMLC 2018
LandFrankreich
OrtGrenoble
Zeitraum18/06/1820/06/18