Room-Temperature Deposition of DLC Films by an Ion Beam Method, Reactive Magnetron Sputtering and Pulsed Laser Deposition: Process Design, Film Structure and Film Properties

Publikationen: Thesis / StudienabschlussarbeitDissertation

Autoren

Abstract

Ziel der Doktorarbeit war die Prozessentwicklung von Physikalischen Dampfphasenabscheidungverfahren und die Untersuchung der Struktur/Eigenschaften-Zusammenhänge von bei Raumtemperatur (

Details

Titel in ÜbersetzungRaum-Temperatur Abscheidung von DLC-Schichten mit einer Ionenstrahlmethode, reaktivem Magnetronkathodenzerstäuben und gepulster Laser Dampfphasenabscheidung: Prozess-Design, Schichtstruktur und Schichteigenschaften
OriginalspracheEnglisch
QualifikationDr.mont.
Betreuer/-in / Berater/-in
StatusVeröffentlicht - 2009