Publikationen

  1. 2021
  2. Veröffentlicht

    Bragg mirrors with modified period for sub-10-nm wavelengths

    Meisels, R. & Kuchar, F., 8 Nov 2021, in: OSA continuum. 4.2021, 11, S. 2875-2891 17 S.

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  3. 2020
  4. Veröffentlicht

    Multilayer Mirrors for Radiation Beyond the Extreme Ultraviolet

    Meisels, R. & Kuchar, F., 26 Feb 2020.

    Publikationen: KonferenzbeitragPosterForschung(peer-reviewed)

  5. 2018
  6. Veröffentlicht

    Simulation von EUV-Spiegeln

    Meisels, R., 17 Mai 2018.

    Publikationen: KonferenzbeitragPosterTransfer

  7. Veröffentlicht

    Photonic superlattice multilayers for EUV lithography infrastructure

    Kuchar, F. & Meisels, R., 1 Jan 2018, 34th European Mask and Lithography Conference. SPIE, Band 10775. 1077503

    Publikationen: Beitrag in Buch/Bericht/KonferenzbandBeitrag in Konferenzband

  8. Veröffentlicht

    Reaction of different rock types to low-power (3.2 kW) microwave irradiation in a multimode cavity

    Hartlieb, P., Kuchar, F., Moser, P., Kargl, H. & Restner, U., Jan 2018, in: Minerals engineering. 118

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  9. 2017
  10. Veröffentlicht

    EUV Bragg reflectors with photonic superlattices

    Meisels, R. & Kuchar, F., 11 Dez 2017, in: Optics express. 25, 26, S. 32215-32226

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  11. Veröffentlicht

    Simulation von EUV Spiegeln

    Meisels, R., 15 Nov 2017.

    Publikationen: KonferenzbeitragPosterTransfer

  12. Veröffentlicht

    Numerical study of the influence of irradiation parameters on the microwave-induced stresses in granite

    Toifl, M., Hartlieb, P., Meisels, R., Antretter, T. & Kuchar, F., 2017, in: Minerals engineering. 103-104, S. 78-92

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  13. 2016
  14. Veröffentlicht

    Numerical Studies on the Application of Photonic Crystals for EUV mirrors

    Meisels, R. & Kuchar, F., 29 Sep 2016.

    Publikationen: KonferenzbeitragVortragForschung(peer-reviewed)

  15. Veröffentlicht

    Bragg meets Moore: Photonic Crystals for the Extreme Ultraviolet

    Kuchar, F. & Meisels, R., 11 Apr 2016.

    Publikationen: KonferenzbeitragVortragForschung(peer-reviewed)

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