Simulation von EUV-Spiegeln

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Simulation von EUV-Spiegeln. / Meisels, Ronald.

2018. Postersitzung präsentiert bei Silicon Alps Spotlight, Leoben, Österreich.

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Meisels, R 2018, 'Simulation von EUV-Spiegeln', Silicon Alps Spotlight, Leoben, Österreich, 17/05/18 - 17/05/18.

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Meisels, R. (2018). Simulation von EUV-Spiegeln. Postersitzung präsentiert bei Silicon Alps Spotlight, Leoben, Österreich.

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Meisels R. Simulation von EUV-Spiegeln. 2018. Postersitzung präsentiert bei Silicon Alps Spotlight, Leoben, Österreich.

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Meisels, Ronald. / Simulation von EUV-Spiegeln. Postersitzung präsentiert bei Silicon Alps Spotlight, Leoben, Österreich.

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title = "Simulation von EUV-Spiegeln",
author = "Ronald Meisels",
year = "2018",
month = may,
day = "17",
language = "Deutsch",
note = "Silicon Alps Spotlight : Neue Materialien und Materialtechnologien f{\"u}r Innovationen in der Mikro­elektronik ; Conference date: 17-05-2018 Through 17-05-2018",
url = "https://www.silicon-alps.at/veranstaltungen/silicon-alps-spotlight-materialforschung-fuer-mikroelektronik-in-leoben/",

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TY - CONF

T1 - Simulation von EUV-Spiegeln

AU - Meisels, Ronald

PY - 2018/5/17

Y1 - 2018/5/17

M3 - Poster

T2 - Silicon Alps Spotlight

Y2 - 17 May 2018 through 17 May 2018

ER -