Substrate-influenced thermo-mechanical fatigue of copper metallizations: Limits of Stoney's equation

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

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  • Erich Schmid Institute of Materials Science of the Austrian Academy of Sciences

Details

OriginalspracheEnglisch
Aufsatznummer1287
FachzeitschriftMaterials
Jahrgang10
Ausgabenummer11
DOIs
StatusVeröffentlicht - 9 Nov 2017