The effect of interlayer composition and thickness on the stabilization of cubic AlN in AlN/Ti-Al-N superlattices

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

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Titel in ÜbersetzungThe effect of interlayer composition and thickness on the stabilization of cubic AlN in AlN/Ti-Al-N superlattices
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)94-100
FachzeitschriftThin solid films
Jahrgang565
DOIs
StatusVeröffentlicht - 2014