Thickness Dependence of crack initiation and propagation in stacks for piezoelectric microelectromechanical systems

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Autoren

  • Kathleen Coleman
  • Raul Bermejo
  • Dominique Leguillon
  • Susan Trolier-McKinstry

Details

Originalspracheundefiniert/unbekannt
Seiten (von - bis)245-252
FachzeitschriftActa Materialia
Jahrgang191
DOIs
StatusVeröffentlicht - Jun 2020